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冷场发射扫描电镜SU8600运行通知

发布日期:2025-09-26作者:点击:

各相关单位及科研人员:
  我校分析测试中心新引进的冷场发射扫描电子显微镜(Hitachi SU8600)已完成安装调试,正式接入江苏大学大型仪器管理平台(dypt.ujs.edu.cn),即日起面向全校师生开放使用。相关事项通知如下:

  设备信息及主要技术指标:

  1. 设备型号:日立SU8600冷场发射扫描电镜

  2. 设备位置:分析测试中心105

  3. 技术参数:

  分辨率:≤0.7nm@1kV(SE)0.6 nm@15 kVWD1.0mm

  加速电压/着陆电压:0.01-30kV(包含减速模式);

  最大电子束流:≥20 nA

  探头系统:上//顶探测器(UD/LD/TD),包含SE/BSE信号混合功能;

  X射线能谱仪(Oxford):有效面积100mm2

4.电子枪:冷场发射电子枪;

5.样品交换仓:最大兼容6英寸,具有快速换样以及主机洁净保护功能。

主要功能及特点:
   1.主要用于材料样品表面的高分辨率的微观形貌观察,能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像(SE)和背散射电子像(BSE)观察,仪器的分辨率达到亚纳米级且具备广泛的适用性,由于高稳定大束流冷场发射电子枪的发射源亮度高、色散小,在低加速电压下具有超高分辨率,尤其是对于导电性能差、不耐电子辐照的易损伤样品、生物、植物样品、薄膜、玻璃、陶瓷材料等疑难样品都能获取高质量成像结果;

2. 配有X射线能谱仪,可用于元素定性与半定量分析,材料物质结构等测定,可以实现对样品中的元素进行定性半定量的分析。

高分辨冷场发射扫描电子显微镜(Hitachi SU8600应用广泛,可满足材料、环境、生物、半导体、微电子、地质、医药、微生物、新能源等多学科研究需求。

欢迎广大师生预约使用。

三、送样须知

所有测试必须通过“江苏大学大型仪器管理平台(dypt.ujs.edu.cn)”进行预约。暂不接受磁性样品。

送样地址:分析测试中心211

四、联系人:彭老师

联系电话:17851001737


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